超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
(UHR FE-SEM)
附件:
1. 電制冷能譜儀(美國EDAX公司 TEAM EDS)
2. 離子濺射鍍膜儀(英國QUORUM公司Q150R S)
型 號：NOVA NanoSEM 450(SEM)
國 別：美國
生產(chǎn)廠家：FEI
購置時間：2011年
性能指標：
電鏡分辨率：高真空: 1.0nm @ 15kV；1.4nm @ 1kV
低真空: 1.5nm @ 10kV；1.8nm @ 3kV
電鏡加速電壓：200V～30kV
電鏡著陸電壓：50V～30kV(電子減速模式)
束流大?。?.6pA ～200nA
電鏡檢測器：高真空二次電子檢測器(ETD)、極靴內(nèi)二次電子檢測器(TLD-SE)、極靴內(nèi)背散射電子檢測器(TLD-BSD)、
真空二次電子檢測器(LVD)、低真空超高分辨二次電子探測器(Helix)、樣品室紅外CCD探測器
能譜儀能量分辨率：129eV(Mn Kα)
能譜儀元素檢測范圍：Be4-Pu94
主要附件配置：
1. 能譜儀：Apollo X 硅漂移探測器SDD；
能量分辨率：129eV(Mn Kα)；
元素檢測范圍：Be4-Pu94；
可進行點、線、面的元素成份及分布分析；
具有相圖模塊(分析不同的相的分布)
2. 自動離子濺射鍍膜儀：用于樣品噴金
主要應(yīng)用：
1. 適用于觀察各類材料的精細形貌，可獲得高質(zhì)量的高分辨二次電子圖像。電子束減速模式能提供超凡的對比度和樣品最 表面的信息。采用低或超低著陸電壓，能得到靈敏度和襯度更好的樣品表面信息。采用低壓背散射電子探測器能得到超 高 對比度和全面的成分信息。低真空成像能為不導(dǎo)電樣品（如聚合物材料）提供高分辨率表征。
2. 能譜儀可對樣品做元素組成和分布分析，包括點掃描、線掃描、面掃描以及相分析。
送樣須知：
1. FESEM測試樣品要求干燥無可揮發(fā)成分、無磁性，含溶劑的樣品請?zhí)崆罢婵崭稍锾幚?。樣品必須牢固粘貼于樣品臺上，并吹掃去除未粘貼和不牢固樣品； 對不導(dǎo)電樣品可在測試前進行噴金處理，如放大倍數(shù)高于10萬倍則建議直接上鏡觀察（避免金顆粒影響）。
2. 原則上禁止做在強電子束流下易分解的樣品。
3. 建議測試時送樣人現(xiàn)場觀察，對測試過程中的任何疑問或?qū)y試結(jié)果有特別要求請當時向管理人員或操作人員說明。
4. 本電鏡常規(guī)使用高真空二次電子模式，如需做背散射測試或低真空模式要試樣品量而定。
收費標準：
180元/樣 (電鏡)
120元/樣 (噴金)
240元/樣（電鏡+能譜）
